光栅式线性测微计工作原理及输出信号类型

光栅式线性测微计主要使用传动型光电线性编码器，如下图所示。在这个类型中，光源 (LED) 和检测器要素 (发光二 管) 彼此相对，主尺和指示尺 (20µm 间距) 在它们之间。

当光栅尺相对检测器移动时，透过指示尺窗口的光线亮度连续变化。同时，输出两个同步的正弦波信号形成 90 度相位差。这些信号被放大和分离 (使用插入的附加波形)，并以0.1µm、0.5µm、1µm 和 5µm 的正弦波信号输出。

光栅式线性测微计处理内部检测到的信号和输出正弦波信号如下图所示。这些 90 度相位差的正弦波操作信号相当于 RS-422A 信号，测头可以独立使用。但是，某些型号 (LGD 和 LGS) 不能输出正弦波信号而是输出 Digimatic 代码(SPC)，用以鉴定测量位置。